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水平集法研究SON结构的形成机理与实验验证

来源：树人论文网发表时间：2021-09-10

简要：摘要:根据描述硅原子表面扩散现象的理论动力学模型,采用水平集模块,利用COMSOL Multiphysics

　　摘要:根据描述硅原子表面扩散现象的理论动力学模型,采用水平集模块,利用COMSOL Multiphysics

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