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微细加工技术杂志

2021-05-19 7476 电子.电信

微细加工技术杂志基础信息:

《微细加工技术》杂志创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。

微细加工技术杂志期刊荣誉:

《微细加工技术》杂志是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。

微细加工技术杂志栏目设置:

本刊主要栏目:综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术。

微细加工技术杂志订阅方式:

ISSN:1003-8213,CN:43-1140/TN,地址:长沙市新开铺路1025号48所汤辉收,邮政编码:410111。

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    微细加工技术杂志社投稿信息

    (一)基本要求来稿要求题材新颖、内容真实、论点明确、层次清楚、数据可靠、文句通顺。文章一般不超过5000字。投稿请寄1份打印稿,同时推荐大家通过电子邮件形式投稿。

    (二)文题文题要准确简明地反映文章内容,一般不宜超过20个字,作者姓名排在文题下。

    (三)作者与单位文稿作者署名人数一般不超过5人,作者单位不超过3个。第一作者须附简介,包括工作单位、地址、邮编、年龄、性别、民族、学历、职称、职务;其它作者附作者单位、地址和邮编。

    (四)摘要和关键词所有论文均要求有中文摘要和关键词,摘要用第三人称撰写,分目的、方法、结果及结论四部分,完整准确概括文章的实质性内容,以150字左右为宜,关键词一般3~6个。

    (五)标题层次一级标题用“一、二、……”来标识,二级标题用“(一)、(二)、……”来标识,三级标题用“1.2.”来标识,四级标题用“(1)、(2)”来标识。一般不宜超过4层。标题行和每段正文首行均空二格。各级标题末尾均不加标点。

    (六)计量单位、数字、符号文稿必须使用法定的计量单位符号。

    (七)参考文献

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    微细加工技术杂志社编辑部征稿用过滤式电弧沉积系统制备类金刚石薄膜三元硅化物(CoxNil-x)Si2薄膜的制备及特性亚微米分步重复投影光刻机总体设计考虑的几个问题紫外光写入的光纤Bragg光栅电子束偏放输出温度漂移的自动补偿0.1微米电子束曝光机成像系统的计算激光直写系统制作掩模和器件的工艺LIGA技术制作Fresnel波带片的研究金属型场发射阵列的研究一种微摩擦力光学测试方法SU-8环氧树脂的分离实验研究利用等离子体表面预处理改善光掩模IP胶显影工艺特性多层薄膜微结构热应力计算脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜PECVD法制备的ZnO薄膜结晶性能的影响采用氨化技术制备成簇生长的光滑线状氮化镓痕量爆炸物爆燃探测敏感元件的结构设计新型压电微喷的研制硅栅干法刻蚀工艺中腔室表面附着物研究MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析

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