真空科学与技术学报杂志

真空科学与技术学报杂志基础信息：

《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物,双月刊,国内外公开发行。本刊论文被EI、CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

真空科学与技术学报杂志栏目设置：

《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科:真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面及界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。本刊欢迎上述学科领域内的科研论文、研究报告、工艺研究、动态综述、工业技术等稿件,对于开创性的发明、发现等新成果,将优先发表。

真空科学与技术学报杂志订阅方式：

ISSN：1672-7126、CN：11-5177/TB、出版地：北京市。

真空科学与技术学报杂志社相关期刊

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真空科学与技术学报杂志社投稿信息

1.文稿务必立论明确,论证严谨,数据可靠,文字精练。特约稿、综述论文一般8000字以内,学术论文6000字以内,技术交流4000字以内,科技简讯2000字以内,来稿请填好中图分类号。

2.文稿要求用A4纸单面1.5倍行间距,小四号字打印,一式两份。来稿时,请附上作者中联系人、联系电话和电子信箱地址。如可能,请附寄磁盘。

3.稿件请按本刊格式整理,除正文以外,要同时给出中、英文的篇名、作者姓名和工作单位、论文摘要300字左右、关键词4～6个,参见“关于在学术论文中规范关键词选择的决定”。

真空科学与技术学报杂志社编辑部征稿后栅型场发射显示器窜压现象的研究94GHzTE02模回旋管Vlasov模式变换器的设计与模拟非晶Ni-Al-N薄膜用作Cu互连阻挡层的研究改进2.5维多频大信号互作用程序模拟螺旋线行波管非线性交调互调特性氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究HT-7托卡马克中破裂等离子体放电对器壁放气的影响真空卷绕镀膜机开卷张力控制系统研究基于有限元的单轴双销铰链式大门机构变形分析原子层沉积系统设计的研究掺硅类金刚石膜的摩擦学性能研究直管磁过滤弧离子镀CrN涂层改善304不锈钢表面性能研究磁场对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响纳米金红石相TiO2的制备及其介电性能实验研究a-SiNx∶H薄膜退火前后微结构的Raman谱研究非晶FeSiB薄膜中的巨磁阻抗效应等离子体气相沉积非晶SiO2薄膜的特性研究直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜的光催化性研究彩色等离子体显示器放电气体的研究双峰式显示管的特点及电路设计俄歇电子全息的计算机模拟研究和数值重现CVD金刚石薄膜抛光技术的研究进展定容式气体微流量标准装置用离子束辅助沉积和计算机控制系统制备纳米薄膜复合材料IBADMoS2-Ta复合膜的氧化行为研究真空蒸发沉积聚苯胺晶态薄膜的研究射频激励CO2波导激光器的放电技术红外用超薄PtSi膜的一种制备新方法电涡流法检测罐头真空度的探头研制和仪器智能化共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟横向巨磁阻抗效应中磁导率张量的理论研究电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的有限元法在42英寸多枪彩色显像管玻壳设计中的应用β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜的电子显微及X射线衍射研究薄膜场发射阴极中纳米线密度的理论优化MoS2基板上外延生长C60薄膜的分子动力学模拟系统级模拟的MEMS器件宏模型电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性利用脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究微波ECR等离子体刻蚀系统微光像增强器信噪比测试技术研究钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究